Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих (ЕТКС). Выпуск №20.
Утвержден Постановлением Минтруда РФ от 21.01.2000 N 5
(в редакции Постановления Минтруда РФ от 12.09.2001 N 67)
Оператор вакуумно-напылительных процессов
§ 9. Оператор вакуумно-напылительных процессов (2-й разряд)
Характеристика работ. Напыление однослойных пленок металлов
и стекол на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек и масок без
точного совмещения экранов и испарителей в рабочую камеру установки. Загрузка
навесок испаряемых металлов и стекол на испарители различных конструкций.
Замеры толщины в процессе напыления, контроль сплошности и адгезии.
Должен знать: назначение, устройство и правила эксплуатации
обслуживаемых установок; назначение и принцип работы применяемых
контрольно-измерительных приборов, правила пользования и обращения с ними;
назначение процесса откачки; способы и методы контроля степени вакуума; режимы
испарения и осаждения распыляемого материала.
§ 10. Оператор вакуумно-напылительных процессов (3-й разряд)
Характеристика работ. Напыление многослойных пленочных
микросхем на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек, масок,
экранов и испарителей в рабочую камеру вакуумной установки. Загрузка навесок
испаряемых материалов (золото, алюминий, нихром и др.) на испарители различных
конструкций. Замена мишеней на установках магнетронного напыления. Контроль
электрических параметров процесса напыления; определение качества напыляемых
слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.
Должен знать: устройство, принцип действия и способы
подналадки обслуживаемого оборудования; устройство универсальных и специальных
приспособлений, контрольно-измерительных приборов; назначение процесса откачки;
режимы испарения и осаждения распыляемого материала; способы и методы контроля
степени вакуума; основные свойства и характеристики испаряемых материалов;
основные законы электротехники и вакуумной техники.
Примеры работ
1. Кристаллические элементы кварцевых резонаторов -
напыление.
2. Приборы квантовые - напыление трехслойных зеркал.
3. Подложки, пленки, ситалловые спутники - напыление
алюминия, золота, нихрома, индия, ванадия, никеля, молибдена с контролем
качества и толщины напыленного слоя.
4. Резисторы - напыление на ситалловую подложку через
маску.
§ 11. Оператор вакуумно-напылительных процессов (4-й разряд)
Характеристика работ. Напыление одного и нескольких слоев
металлов на пластины, а также пленки на вакуумных установках с термическим
распылением. Обслуживание вакуумных установок различных типов, в том числе с
магнетронным способом напыления. Определение неисправностей в работе установок
и принятие мер по их устранению. Корректировка режимов напыления по результатам
контрольного процесса. Регистрация и поддержание режимов осаждения с помощью
контрольно-измерительной аппаратуры. Определение качества напыленных слоев и
толщины полученных пленок с помощью микроскопа.
Должен знать: устройство вакуумных установок различных
моделей; кинематику, электрические и вакуумные схемы; правила наладки и
проверки на точность обслуживаемого оборудования; устройство, назначение и
условия применения контрольно-измерительных инструментов и приборов;
конструкцию универсальных и специальных приспособлений; способы отыскания
течей; основные свойства пленок, используемых для получения токоведущих,
резистивных и изоляционных элементов микросхем; основы физического процесса
получения тонких пленок; основные виды брака и причины его возникновения.
Примеры работ
1. Конденсаторы тонкопленочные - напыление меди, нихрома,
многоокиси кремния.
2. Микросхемы (с малой степенью интеграции), ВЧ транзисторы
- напыление на пластину алюминия, золота, нихрома, молибдена, систем:
молибден-алюминий, титан-алюминий, вольфрам-алюминий,
вольфрам-алюминий-вольфрам.
3. Микроструктуры многослойные пленочные - получение
методом напыления в вакууме с контролем качества и толщины пленок.
4. Пластины с заданным рельефом - получение методом
термического испарения трехслойного выпрямляющего контакта.
5. Платы анодные для люминесцентных индикаторов - напыление
нескольких слоев металла (хром, никель, медь).
6. Пленки (триацетатные, ПЭТФ) - напыление алюминия.
7. Приборы квантовые - напыление пятислойных зеркал.
8. Фотошаблоны металлизированные - напыление хрома.
§ 12. Оператор вакуумно-напылительных процессов (5-й разряд)
Характеристика работ. Напыление различными способами
(термическое испарение, катодное распыление, электронно-лучевое и магнетронное
напыление) однослойных и многослойных пленочных микроструктур для изделий с
субмикронными размерами или с повышенной степенью интеграции с выбором
оптимальных режимов напыления в пределах допусков, указанных в технологической
документации. Обслуживание установок с программным управлением. Наблюдение за
режимами процесса. Работа с измерительной аппаратурой с целью регистрации и
поддержания режимов осаждения пленок. Сравнительный контроль качества
просветляющих пленок по эталону.
Должен знать: электрические и вакуумные схемы, способы
проверки на точность различных моделей вакуумных напылительных установок;
конструкцию обслуживаемого оборудования; правила определения режимов работы
оборудования для получения металлических, резистивных пленок; правила настройки
и регулирования контрольно-измерительных инструментов и приборов;
электрофизические свойства взаимодействия полупроводник - металл, металл -
металл; основы электротехники и порядок работы вакуумной техники.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Диски для видиконов - двух-, трехслойное напыление.
2. Линзы из стекла К-8 оптической толщины лямбда/4 -
нанесение одного слоя MgFe2 (просветление).
3. МДП-структуры - изготовление молибденового затвора.
4. Пластины C ч As - напыление Ag с подслоем Cr.
5. Пластины стеклянные - напыление маскирующих, кварцевых
покрытий.
6. Пластины полупроводниковые (диодные матрицы, СВЧ -
транзисторы, БИС, СБИС, ЗУ, стабилитроны) - одно- или двухслойное напыление
различными способами.
7. Пленка полистирольная или стирофлексная, конденсаторная
бумага - напыление различных металлов на вакуумной установке.
8. Пленки полупроводниковые и контактные площадки -
напыление на монокристаллические подложки германия, кремния, арсенида галлия.
9. Подложки кварцевые - нанесение 15 слоев равной
оптической толщины лямбда/4 (зеркало с коэффициентом отражения 99%).
10. Приборы квантовые - напыление семи-, одиннадцатислойных
зеркал.
§ 13. Оператор вакуумно-напылительных процессов (6-й разряд)
Характеристика работ. Напыление металлических, резистивных
и диэлектрических пленок на установках различных типов. Самостоятельный выбор
способа нанесения пленок (термическое осаждение в вакууме, катодное распыление,
осаждение из газовой фазы, электронно-лучевое и магнетронное напыление и т.д.).
Отработка режимов напыления.
Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на
точность различных типов оборудования для напыления микропленочных структур;
методы определения способа нанесения пленок и последовательности процесса;
правила определения режимов получения пленочных микроструктур; методы контроля
параметров пленок; физику процесса получения пленочных микроструктур различными
способами.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Микросхемы пленочные, полупроводниковые приборы -
изготовление опытных образцов на установках различных типов с двухслойной или
многослойной металлизацией.
2. Пластины кремния различных типов - сплавление с
одновременным нанесением алюминия.
3. Пластины со структурами - многослойное напыление на
установках различных типов.
4. Покрытия оптические - просветление трехслойное
двухстороннее.
5. Фильтры интерференционные - нанесение двух
двенадцатислойных зеркал с промежуточным слоем лямбда/2.
§ 14. Оператор вакуумно-напылительных процессов (7-й разряд)
Характеристика работ. Напыление металлических и окисных
покрытий с заданной оптической плотностью и дефектностью. Напыление тугоплавких
металлов с образованием силицидов. Составление программ проведения процесса
напыления с использованием ЭВМ. Замер поверхностного сопротивления силицидов и
пленок металла. Определение отражающей способности пленки и коэффициента
запыления рельефа пленкой. Отработка режимов напыления пленки с получением
указанных параметров (толщина, состав, коэффициенты запыления и отражения),
настройка и калибровка по эталонам приборов для измерения заданных параметров.
Сборка и разборка внутрикамерного устройства установок и их чистка. Отыскание
течей вакуумных систем и принятие мер по их ликвидации. Оценка качества
высокого вакуума.
Должен знать: устройство и принцип работы обслуживаемого
оборудования; принцип работы откачных средств и способы измерения вакуума;
наладку и настройку контрольно-измерительных приборов; способы получения
проводящих, резистивных, барьерных, диэлектрических слоев и диодов Шоттки;
влияние режимов напыления на электрофизические свойства пленок.
Требуется среднее профессиональное образование.
Похожие материалы:
Оператор вакуум-присосных механизмов и приспособлений
Оператор в производстве раствора казеинатов и казецитов (Выпуск №49 ЕТКС )
Оператор в производстве кисломолочных и детских молочных продуктов
Оператор вакуумных установок по нанесению покрытий на оптические детали
Оператор вальцово-каландровой линии производства поливинилхлоридной пленки (Выпуск №27 ЕТКС)
Оператор вальцовочной линии
|