Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих (ЕТКС). Выпуск №20.
Утвержден Постановлением Минтруда РФ от 21.01.2000 N 5
(в редакции Постановления Минтруда РФ от 12.09.2001 N 67)
Оператор диффузионных процессов
§ 15. Оператор диффузионных процессов (2-й разряд)
Характеристика работ. Ведение процессов диффузии примесей
(бора, фосфора) в кремний и создание защитных покрытий химико-термическим
методом (под руководством рабочего высшей квалификации). Окисление пластин
кремния в потоке газов и паров воды. Загрузка и выгрузка пластин кремния. Измерение
температуры рабочей зоны установки и наблюдение за другими режимами с помощью
контрольно-измерительных приборов и термопар. Изготовление шлифов на пластинах
кремния и определение по ним глубины диффузии. Вжигание металлизированных
контактов (алюминий, золото) в кремний. Взвешивание диффузанта и его загрузка.
Должен знать: наименование, назначение важнейших частей и
принцип действия установок для проведения процессов окисления; назначение и
условия применения контрольно-измерительных приборов, ротаметров, контактных
термометров; методы определения толщины окислов по интерференционным полосам в
сравнении с таблицей; основные свойства полупроводниковых материалов (германий,
кремний) и материалов, применяемых для легирования (бор, фосфор и их
соединения); основы теории получения р-п переходов (диодов и триодов); принцип
действия установок измерения удельного сопротивления четырехзондовым методом.
Примеры работ
1. Пластины кремния, германия - термообработка перед
фотолитографией.
2. Пленки окисные - получение методом контролируемого
низкотемпературного окисления моносилана кислородом в среде инертного газа.
3. Подложки - насыщение бором.
§ 16. Оператор диффузионных процессов (3-й разряд)
Характеристика работ. Ведение процессов окисления, диффузии
примесей в один из видов полупроводникового материала на налаженном
оборудовании определенного типа. Измерение толщины окисла и дрейфовой области
кремниевых пластин. Изготовление косых и сферических шлифов, выявление
переходов, измерение глубины р-п перехода поверхностного сопротивления и
концентрации примесей. Контроль режима диффузионного процесса. Загрузка и
выгрузка пластин с помощью автоматического загрузчика. Контроль качества
пластин после диффузии и окисления. Комплектация (формирование) партий
эпитаксиальных структур.
Должен знать: устройство и способы подналадки обслуживаемых
оборудования и установок; методы измерения температуры в рабочей зоне
установки; степени осушки газа; свойства газов, применяемых материалов;
основные законы электротехники и вакуумной техники в пределах выполняемых
работ; влияние различных факторов на параметры диффузионных слоев; устройство
приборов для контроля процесса; методы измерения поверхностного сопротивления;
методы контроля толщины дрейфовой области.
Примеры работ
1. Диффузия золота.
2. Стекло боросиликатное - диффузия бора.
3. Стекла растворимые - диффузия сурьмы.
4. Структуры кремниевые - геттерирование с помощью пленки
SiO2 с одновременной диффузией никеля.
§ 17. Оператор диффузионных процессов (4-й разряд)
Характеристика работ. Окисление и диффузия примесей в
германий, кремний и арсенид галлия с применением твердых, жидких и газообразных
диффузантов. Отжиг ионно-легированных слоев. Ведение процесса дрейфа ионов
лития в пластины кремния. Одновременное проведение двух процессов окисления или
диффузии. Дозирование легирующих элементов. Подготовка газораспределительного
пульта к работе. Сборка и наладка отдельных узлов газовой системы (определение
точки росы и содержания кислорода в технологических газах). Наблюдение за
температурой и другими режимами и регулирование их. Определение неисправностей
в работе оборудования. Измерение электрических параметров р-п переходов,
резисторов и характеристик микросхем.
Должен знать: устройство установок с высокочастотным
нагревом, установок дрейфа, водородной, вакуумной и силитовых печей;
устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов
(термопар, гальванометров, осциллографов, вакуумметров и др.); методы измерения
температурного профиля диффузионной печи; основные свойства полупроводниковых
материалов (германий, арсенид галлия, кремний); свойства газов (водород, азот,
кислород); основные свойства диффузантов; режимы процесса; способы и методы
контроля; элементарный расчет параметров диффузионных слоев; основные свойства
оксидных пленок, р-п, п-п переходов; методы их получения и контроля.
Примеры работ
1. Диффузия мышьяка, сурьмы.
2. Диффузия фосфора из треххлористого фосфора, оксихлорена
и из легированных пленок.
3. Диффузия бора из нитрида бора и трибромида бора.
4. Диффузия бора и золота, фосфора и золота (одновременное
проведение процесса).
5. Кремний - окисление в парах HCl.
6. Пластины кремния - термическое окисление в печах типа
СДО 125/3-12.
§ 18. Оператор диффузионных процессов (5-й разряд)
Характеристика работ. Ведение сложных процессов диффузии и
окисления в диффузионных печах различных типов (в том числе с программным
управлением) с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов.
Составление программ проведения процесса. Введение легирующих присадок в
кремний, германий, арсенид галлия. Обслуживание печей непрерывного действия,
водородной, вакуумной установок. Измерение электропараметров БИС, СБИС и
транзисторных структур. Проведение элементарного расчета параметров
диффузионных слоев. Анализ экспериментальных данных по результатам измерений
параметров диффузионных слоев, окисных пленок. Контроль и корректировка режимов
технологических процессов диффузии, окисления, отжига ионно-легированных слоев.
Сборка, вакуумирование и отпайка кварцевых ампул с мышьяком, сурьмой, бором и
их соединениями в качестве лигатуры. Сборка газовой системы и проверка ее
герметичности. Определение неисправностей в работе оборудования и их
устранение.
Должен знать: электрические и газовые схемы обслуживаемого
оборудования, правила его наладки на заданный режим; правила настройки и
регулирования приборов для контроля процесса; очистительную систему для газов,
поступающих в установку; правила определения режимов работы; влияние
характеристик диффузионных слоев на параметры получаемых приборов.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Диффузия цинка в парах мышьяка или фосфора в тройные
соединения.
2. Пластины кремния - диффузия бора, фосфора, мышьяка в печах
с программным управлением типа СДО-125/3-15.
3. Пластины кремния - окисление при повышенном давлении;
создание скрытых слоев; легирование сурьмой и мышьяком в печах с программным
управлением.
4. Пластины кремния - создание подзатворного диэлектрика и
контроль его параметров.
§ 19. Оператор диффузионных процессов (6-й разряд)
Характеристика работ. Ведение сложных процессов диффузии,
окисления с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов.
Обслуживание печей и установок любого типа, в т.ч. и с программным управлением.
Обработка экспериментальных данных, построение графиков, таблиц по
статистическим данным. Проведение расчета концентрационного профиля,
поверхностной концентрации, типа проводимости слоев. Самостоятельное задание
режимов, самостоятельная работа на полярископе и лазерном элипсометре,
определение плотности поверхностных состояний по вольт-емкостным
характеристикам при изготовлении канальных БИС. Расчет и экспериментальное
определение профиля распределения примеси. Работы на автоматических
диффузионных установках - налаживание, корректировка режимов в процессе работы
и контроль.
Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на
точность оборудования и устройств различных типов для проведения процесса
диффузии; теорию процессов диффузии и окисления; влияние различных параметров
на характеристики диффузионных слоев; способы и методы определения годности
переходов; физико-химические свойства применяемых материалов; расчеты,
связанные с проведением процессов диффузии.
Требуется среднее профессиональное образование.
§ 20. Оператор диффузионных процессов (7-й разряд)
Характеристика работ. Ведение сложных высокотемпературных
процессов диффузии на оборудовании и оборудовании с микропроцессорным
программным управлением с применением различных типов диффузантов. Ведение
процесса окисления кремниевых пластин пирогенным способом. Расчет необходимых
пропорций кислорода и водорода в их смеси. Одновременное проведение трех
процессов окисления или диффузии. Выбор способа формирования диэлектрика в
зависимости от назначения и требований нему. Получение р-п переходов и контроль
их вольт-амперных характеристик на измерителе Л2-56. Сбор и обработка
информации с помощью компьютера. Анализ причин возникновения брака на операциях
высокотемпературных обработок и принятие мер по его устранению.
Должен знать: устройство и принцип работы обслуживаемого
оборудования; назначение и условия применения контрольно-измерительного
оборудования (спектрофотометры MPVSD, "Suzfscan", ЛЭФ-3М); назначение
окисных пленок и диффузионных слоев и требования к ним; факторы, определяющие
скорость роста окислов; механизмы диффузии в полупроводниках; виды брака на
термодиффузионных операциях, причины его возникновения и способы устранения;
способы получения р-п переходов и методы определения их годности.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Изолирующий окисел - пирогенное окисление.
2. Диффузия фосфора в поликремний - легирование затвора.
Похожие материалы:
Оператор дистанционного пульта управления в химическом производстве
Оператор дистанционного пульта управления в водопроводно-канализационном хозяйстве (Выпуск №69 ЕТКС)
Оператор диспетчерской службы
Оператор жгутоперемоточной машины
Оператор жестяно-баночного оборудования (Выпуск №13 ЕТКС)
Оператор животноводческих комплексов и механизированных ферм
|