Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих (ЕТКС). Выпуск №20.
Утвержден Постановлением Минтруда РФ от 21.01.2000 N 5
(в редакции Постановления Минтруда РФ от 12.09.2001 N 67)
Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев
§ 21. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев (3-й разряд)
Характеристика работ. Ведение процесса наращивания
эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев с
определенными параметрами на установках эпитаксиального наращивания. Подготовка
оборудования к работе, проверка оборудования на герметичность, загрузка и
разгрузка подложек. Контроль и корректировка режима процесса наращивания.
Проверка качества применяемых подложек, материалов. Ведение процесса газового
травления. Замер температуры оптическим пирометром. Заправка испарителей SiCl4.
Снятие и установка кварцевой оснастки на оборудовании различных типов.
Проведение профилактики газовой системы. Замена баллонов.
Должен знать: устройство важнейших частей, принцип действия
установок эпитаксиального наращивания и контрольно-измерительных приборов;
свойства химикатов, применяемых для наращивания эпитаксиальных, поликристаллических,
диэлектрических и металлических слоев; реакции, происходящие на поверхности
подложки в процессе наращивания; влияние примесей на качество эпитаксиальных,
поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев; способы
градуирования ротаметров; методы измерения и регулирования температуры процесса
наращивания испарителей, охлаждения реактора; правила работы с баллонами,
магистральными газами и газовыми смесями.
Примеры работ
Эпитаксиальные, поликристаллические, диэлектрические,
металлические слои - наращивание однослойных структур.
§ 22. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев (4-й разряд)
Характеристика работ. Ведение процесса наращивания
эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев всех
типов. Корректировка процесса наращивания по результатам контрольного процесса.
Расчет скорости наращивания эпитаксиальных, поликристаллических,
диэлектрических и металлических слоев. Расчет концентрации легирующей примеси.
Карбидизация графитовых нагревателей (пьедесталов). Приготовление растворов
SiCl4 с определенной концентрацией легирующей примеси. Определение неисправностей
в установках.
Должен знать: устройство и способы подналадки оборудования
различных типов; методы наращивания эпитаксиальных, поликристаллических,
диэлектрических, металлических слоев и их свойства; свойства полупроводниковых
материалов; свойства газов; методы измерения основных электрофизических и
структурных параметров эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и
металлических структур; устройство, назначение и условия применения приборов
для контроля процесса, системы газораспределения и водяного охлаждения; влияние
концентрации легирующей примеси на параметры эпитаксиальных структур,
поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев; основы
электротехники в пределах выполняемой работы.
Примеры работ
Эпитаксиальные, поликристаллические, диэлектрические и
металлические слои - наращивание структур со скрытыми слоями.
§ 23. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев (5-й разряд)
Характеристика работ. Ведение процессов наращивания
многослойных эпитаксиальных структур, диэлектрических слоев. Наращивание
сверхтонких поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев.
Устранение разброса параметров слоев различными методами. Замена стаканов и
настройка индукторов по температурному режиму на установках, использующих
ВЧ-нагрев. Настройка температурного режима процесса на установках, использующих
инфракрасные и другие виды нагрева. Задание режимов на электронной системе
управления технологическим процессом.
Должен знать: электрическую и газовую схему обслуживаемого
оборудования, способы ее проверки, основные неисправности и методы их
устранения; режимы и правила проведения процессов для получения сложных и
многослойных эпитаксиальных структур, поликристаллических, диэлектрических,
металлических слоев; правила настройки и регулировки приборов для контроля
процесса, основы теории процесса эпитаксиального наращивания; правила работы с
электронной системой управления технологическим процессом.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Структуры многослойные эпитаксиальные - наращивание с
заданными параметрами.
2. Структура многослойная диэлектрик-полупроводник -
наращивание.
3. Слои тонкие эпитаксиальные - наращивание.
§ 24. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев (6-й разряд)
Характеристика работ. Самостоятельное ведение процессов
получения эпитаксиальных, диэлектрических, поликристаллических и металлических
слоев любого назначения на оборудовании различных типов. Проведение процессов,
стимулированных плазмой, и процессов с использованием газообразных, жидкостных
и твердых источников. Проведение экспериментальных и опытных работ по
наращиванию слоев. Самостоятельная корректировка режимов в процессе работы.
Расчет концентрации легирующей примеси, расчет скорости потоков паров и газов,
температурных режимов. Задание и корректировка режимов на электронной системе
управления технологическим процессом.
Должен знать: конструкцию, способы и правила наладки
различных типов оборудования; правила работы с электронной системой управления
технологическим процессом; методы прецизионной обработки полупроводниковых
материалов; методы расчета концентрации легирующей примеси; особенности
процессов диффузии и наращивания эпитаксиальных, поликристаллических,
диэлектрических и металлических слоев; конструкцию полупроводниковых приборов и
твердых схем на основе эпитаксиальных структур; основы теории полупроводников;
физические и химические основы технологических процессов наращивания.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Многослойные эпитаксиальные структуры - наращивание с
различными заданными параметрами.
2. Локальная эпитаксия - наращивание.
Похожие материалы:
Оператор по нанесению просветляющих и защитных покрытий
Оператор по нанесению газопоглотителя (Выпуск №20 ЕТКС)
Оператор по намагничиванию и контролю высококоэрцитивных магнитов
Оператор по обслуживанию и ремонту вагонов и контейнеров
Оператор по обслуживанию и ремонту вагонов и контейнеров (Выпуск №56 ЕТКС )
Оператор по обслуживанию проявочного процессора
|