|
Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих (ЕТКС). Выпуск №20.
Утвержден Постановлением Минтруда РФ от 21.01.2000 N 5
(в редакции Постановления Минтруда РФ от 12.09.2001 N 67)
Аппаратчик восстановления полупроводниковых материалов
§ 1. Аппаратчик восстановления полупроводниковых материалов (3 - 5 разряды)
Характеристика работ. Ведение процессов восстановления
полупроводниковых материалов (хлориды кремния, германия, моносилана и др.) в
электрических печах с заданными электрофизическими, фотоэлектрическими и
оптическими свойствами, геометрическими размерами, а также конденсации
продуктов реакции из парогазовой смеси. Дозированное легирование в процессе
восстановления. Наблюдение за режимами процессов и их регулирование.
Регулирование температуры процесса согласно режимной карте, скорости подачи
исходных компонентов и газа-восстановителя, силы тока и напряжения, давления и
разрежения в системе, расхода газа и охлаждаемой воды. Наладка и обслуживание
печей, вакуумной аппаратуры, установок тонкой очистки водорода, установок
конденсации продуктов реакции, контрольно-измерительных приборов, средств
автоматики и сигнализации. Прием сырья и материалов, подача и загрузка сырья и
полуфабрикатов. Подготовка лигатуры, графитовой и другой оснастки. Отбор проб.
Продувка реактора нейтральным газом. Участие в ремонте обслуживаемого
оборудования. Монтаж и демонтаж печей. Снятие реактора и переноска его к месту
демонтажа. Проверка герметичности печей. Зарядка и наладка аппаратуры. Мойка
реактора. Чистка печей, воздуховодов, конденсаторов от побочных продуктов
реакции. Ведение записей показателей работы печи, хода технологического
процесса. Вскрытие печей после процесса и выгрузка готовой продукции.
Постоянное поддержание чистоты на рабочем месте. Дегазация оборудования и
помещений при загрязнении их токсичными веществами.
Должен знать: технологическую схему производства; режимы и
методы восстановления полупроводниковых материалов; устройство основного и
вспомогательного оборудования, контрольно-измерительных приборов, средств
автоматики и сигнализации; физико-химические свойства сырья, готовой продукции
и вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты
на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы; основа легированная и
правила расчета лигатуры; режимные карты и рабочие инструкции; основы
электротехники, вакуумной техники, физики, химии, электроники, кристаллографии;
основы технологических процессов; правила выявления и устранения неисправностей
в работе обслуживаемого оборудования; системы технологических и энергетических
коммуникаций.
При ведении процесса восстановления полупроводниковых
материалов под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 3-й
разряд.
При ведении процесса восстановления полупроводниковых
материалов с корректировкой процесса; при подготовке и обработке оснастки - 4-й
разряд.
При ведении процесса восстановления полупроводниковых
материалов с отработкой технологии по заданным свойствам, наладке технологии и
технологического оборудования - 5-й разряд.
Требуется среднее профессиональное образование.
Похожие материалы:
Аппаратчик восстановления молока
Аппаратчик восстановления (Выпуск №24 ЕТКС)
Аппаратчик воздухоразделения
Аппаратчик вспенивания
Аппаратчик вулканизации (Выпуск №33 ЕТКС)
Аппаратчик выделения ацетофенона
|
