Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих (ЕТКС). Выпуск №20.
Утвержден Постановлением Минтруда РФ от 21.01.2000 N 5
(в редакции Постановления Минтруда РФ от 12.09.2001 N 67)
Травильщик прецизионного травления
§ 132. Травильщик прецизионного травления (2-й разряд)
Характеристика работ. Травление, обезжиривание и
нейтрализация деталей. Травление пластин полупроводниковых приборов и микросхем
в кислотах, обработка в органических растворителях. Подготовка ванн для
травления в кислотах и щелочах. Корректировка температуры ванн. Загрузка
деталей в кассеты или наклеивание их в подставки для травления. Работа с
электронагревательными приборами. Регулирование процессов травления по заданным
режимам. Контроль процесса травления и определение качества травления при
помощи измерительного инструмента. Сушка деталей. Обработка тары, оснастки,
приспособлений и химической посуды для особо чистых реактивов в моющих
растворах и органических растворителях. Предупреждение возникновения брака.
Должен знать: наименование и назначение важнейших частей, принцип
действия обслуживаемого оборудования; устройство и правила эксплуатации
однотипного оборудования для травления и обезжиривания; назначение отдельных
этапов процесса и последовательность их выполнения; основные режимы травления,
обезжиривания и очистки; составы применяемых травильных и обезжиривающих
растворов; методы контроля чистоты поверхности; применяемый
контрольно-измерительный инструмент; основные свойства кислот, щелочей,
применяемых материалов, виды брака; электротехнику и электрохимию в пределах
выполняемой работы.
Примеры работ
1. Блоки пьезокварца, выводы, кожухи, накладки, детали и
реле радиоизделий из черных, цветных металлов и сплавов - травление.
2. Детали и эмиттеры фуродитовые - электрохимическое
травление.
3. Детали простые для магнетронов - химическое и
электрохимическое травление.
4. Детали корпусов полупроводниковых приборов - травление в
органических растворителях и кислотах; промывание.
5. Детали из нержавеющей и легированной стали - химическое
полирование и травление.
6. Детали с мелкой резьбой - травление.
7. Изделия посудные (цилиндрические и плоские) и арматура к
ним - травление.
8. Изоляторы и баллоны кварцевые - травление в
100-процентной плавиковой кислоте.
9. Кварцевые и кремниевые лодочки и кассеты - травление в
плавиковой кислоте и хромовой смеси; промывание.
10. Корпуса интегральных схем, блоки арматуры - травление,
промывание, обезжиривание и сушка основания.
11. Кристаллы пьезокварца - травление в плавиковой кислоте.
12. Пластины, кристаллы германия, кремния и переходы -
подготовка к травлению методом химико-динамического полирования после
механической обработки; химико-динамическое полирование в готовом травителе;
травление пластины с одной стороны и защита другой стороны химически стойкими
лаками; обезжиривание и промывание.
13. Пластины - качественное промывание пластин перед
фотолитографической обработкой и кипячением в кислотах (соляной, серной,
азотной, плавиковой) и органических растворителях.
14. Пластины кварцевые - промывка и кипячение в кислотах
(соляной, серной, азотной) до травления и перед металлизацией.
15. Пластины кварцевые плоские с двухсторонней сферой с
частотой до 15 МГц - травление до заданной частоты.
16. Пластины кварцевые низкочастотные - травление.
17. Пластины и слитки монокристаллического кремния -
травление на установках в открытых ваннах.
18. Проволока из различных металлов разного диаметра -
химическое и электрохимическое травление и очистка.
19. Скобы, шасси, спинки, планки, платы, основания и другие
механические детали - травление.
20. Слитки, прутки и отходы - травление.
21. Спецприборы - химическая полировка выводов.
22. Стакан спецприбора с вваренными выводами - травление.
23. Стеклокомплекты - химическое обезжиривание.
24. Элементы кристаллические шлифованные и полированные - химическая
очистка.
§ 133. Травильщик прецизионного травления (3-й разряд)
Характеристика работ. Травление, химическая очистка
деталей, диэлектриков, полупроводников, пластин и металлов до заданной толщины
согласно технологической документации. Травление деталей с труднодоступными
внутренними поверхностями и деталей с резьбой с сохранением данных размеров.
Травление в расплавленной селитре, в горячих растворах кислот и щелочей.
Травление окиси кремния, боросиликатного стекла, тонких металлических контактов.
Ведение процесса растворения стального и молибденового кернов. Ведение процесса
обработки в ультразвуковых ваннах. Промывание деталей на установке
химико-динамического полирования. Настройка установки. Работа на микроскопах с
целью определения качества поверхности при различных химических обработках.
Приготовление электролитов и растворов травителей заданных концентраций. Расчет
и корректировка электролитов, фильтрация. Нейтрализация и регенерация
отработанных электролитов и растворов. Определение скорости травления на
контрольных деталях и корректировка времени травления. Определение отсутствия
перекиси водорода, щелочей и кислот в промывной воде с помощью индикаторов.
Должен знать: устройство и правила эксплуатации
оборудования различных типов для травления; устройство и правила эксплуатации
установок ультразвуковой обработки; устройство и правила работы на микроскопах,
контрольно-измерительных инструментах; значение качества травления,
обезжиривания и очистки для дальнейших технологических операций; химические и
физические свойства кислот и щелочей; составы и свойства травильных и
обезжиривающих растворов; принципиальную схему процесса элекролитической
очистки; виды брака и методы его предупреждения.
Примеры работ
1. Детали медные, вкладыши - размерное травление в
ультразвуковых установках.
2. Детали графитовые - травление.
3. Диоды туннельные - контролируемое электрическое
травление.
4. Заготовки (лента) молибденовые и вольфрамовые -
травление в ваннах, травление в расплавленной калиевой селитре,
электротравление, химическое травление, осветление, промывание.
5. Катоды из сплава бериллия - травление.
6. Керамика специальная - травление в плавиковой кислоте.
7. Керн молибденовый - вытравливание из вольфрамовой
спирали.
8. Корпусы приборов СВЧ - травление и химическая полировка
с проверкой на микроскопе.
9. Кристаллы германия и кремния, пластины из ковара -
точное травление.
10. Кристаллы германия и кремния, спаянные в стеклянный
корпус, - травление.
11. Кристаллы германия и кремния, собранные с
кристаллодержателем, - травление в растворе фтористо-водородной кислоты.
12. Кристаллодержатели, шасси, колбы металлические -
травление.
13. Оснастка для установок напыления - отмывка в
"царской водке", сбор золота.
14. Переходы собранные - травление, травление в плавиковой
кислоте при помощи ультразвуковой обработки.
15. Переходы, пластины кремниевые - силанирование.
16. Переходы, собранные с выводом, - травление.
17. Пластины кварцевые - травление в бифториде алюминия при
настройке ее на заданную частоту.
18. Пластины из полупроводниковых материалов - маркировка
кислотой, реставрация, травление.
19. Пластины и слитки монокристаллического кремния - мелкое
и глубокое травление на установках в открытых ваннах с последующей
нейтрализацией отходов травителей.
20. Пластины полупроводниковых приборов и микросхем -
химическая обработка в перекисно-аммиачных растворах; химико-динамическое
полирование; реставрация (травление в растворе фтористо-водородной кислоты,
кипячение в азотной кислоте, травление в многокомпонентном травителе).
21. Пластины арсенида галлия - химическая обработка.
22. Пластины кремния - снятие боросиликатного стекла;
обработка контрольной пластины перед измерением поверхностного сопротивления;
смывка пластин после фотогравировки; отмывка пластин перед вжиганием; отмывка
пластин перед напылением металлов; травление мезоструктур.
23. Пластины кварцевые - травление в плавиковой кислоте,
никелирование; высокочастотные кварцевые пластины - травление в плавиковой
кислоте.
24. Пластины кварцевые шлифованные и полированные с
частотой от 45 до 200 МГц по 5-й механической гармонике - травление до заданной
частоты.
25. Пленки на окисле тонкие - стравливание послойное.
26. Проволока, слитки алюминиевые, навески ванадия, титана,
нихрома, никеля, спутники ситалловые, кремниевые - кипячение в органических
растворителях; травление в растворах неорганических кислот; промывание.
27. Проволока и испарители вольфрамовые, оснастка и тара
металлическая, из оргстекла - химическая обработка в растворах щелочей и
кислот.
28. Проволока из тугоплавких металлов и их сплавов -
травление, обезжиривание, нейтрализация методом протяжки.
29. Спаи металла со стеклом - размерное травление.
30. Транзисторы - травление.
31. Электроды эммитера и коллектора - травление.
§ 134. Травильщик прецизионного травления (4-й разряд)
Характеристика работ. Травление пластин, деталей сложной
конфигурации до заданных толщины и параметров шероховатости поверхности (точное
травление, химическая и химико-механическая полировка). Химическая обработка в
горячих растворах кислот (уксусная, азотная, фтористо-водородная и т.д.),
щелочей, смесей на установке с точным контролем ведения процесса. Химическое
выявление дефектов кристаллической структуры полупроводниковых материалов.
Профильное травление деталей с массирующим покрытием. Измерение глубины и
ширины профиля на микроскопах. Приготовление сложных растворов для травления и
химической обработки, электролитов. Выбор оптимальных режимов травления. Подбор
суспензий для химической и химико-механической полировки и травителей при
опробовании новой технологии. Регенерация ионно-обменного слоя, золота. Очистка
поверхности деталей и пластин до и после травления. Очистка полированной
поверхности деталей и пластин суспензией на основе двуокиси кремния, циркония,
окиси хрома. Обслуживание установок и ультразвуковых полуавтоматов. Контроль
шероховатости на микроскопе.
Должен знать: устройство оборудования различных моделей,
кинематику, электрическую схему, правила наладки и проверки его на точность;
принцип работы ванн различных конструкций; конструкцию и принцип работы
пусковых и регулирующих устройств; устройство, назначение и условия применения
контрольно-измерительных инструментов и приборов; виды, назначение, способы и
режимы процессов травления, обезжиривания и очистки; свойства индикаторов, их
применение и приготовление; режимы травления для различных материалов; методы
измерения плоскостных и глубинных размеров рельефа; методы контроля параметров
на отдельных стадиях ведения технологического процесса; порядок ведения
технической документации и сдачи готовой продукции, удельные нормы расхода
материалов.
Примеры работ
1. Блоки анодные полюсных наконечников, керны катодов
магнетронов - особо качественная очистка поверхности с помощью ультразвуковых
установок в щелочных и кислотных растворах, а также в воде, очищенной в
ионообменной установке.
2. Детали и проволока из тугоплавких металлов и их сплавов
- травление методом протяжки.
3. Детали из АРМКО - химическое полирование и травление с
применением подогретых кислот (более 80 градусов).
4. Детали и узлы электронно-оптической системы - точное
травление в ваннах, электротравление.
5. Детали установки полного легирования - нейтрализация в
растворах солей, обработка в растворах кислот, в перекиси водорода, кипячение в
органических растворителях.
6. Катоды - обработка в различных кислотах на
ультразвуковой установке.
7. Колпаки, подколпачное устройство установок напыления -
обработка в растворах неорганических кислот, щелочей, перекиси водорода.
8. Кристаллы и пластины германия и кремния - точное
травление в заданной размерности; электролитическое вытравливание лунок с двух
сторон.
9. Монокристаллы и пластины галлий-гадолинневого граната -
точное травление.
10. Основание корпусов и крышек БИС - особо качественная
очистка поверхности с помощью ультразвуковой установки с применением толуола;
сушка и контроль.
11. Пластины из полупроводниковых материалов - обработка
перед термодиффузионными операциями.
12. Пластины из полупроводниковых материалов - обработка
перед напылением диэлектрического покрытия с применением соляной кислоты,
фтористой кислоты, бидистиллированной воды, кистевой отмывки и сушки на
центрифуге; травление разделительных канавок.
13. Пластины и кристаллы германия и кремния, пластина
арсенида галлия - точное травление.
14. Пластины кварцевые плоские и плоско-выпуклые с частотой
до 20 МГц - травление до заданной частоты.
15. Пластины кремния - химическое высаживание золота.
16. Пластины германия и кремния - химическое полирование в
пределах установленных размеров с заданными параметрами шероховатости.
17. Пластины для приборов - промывка на ультразвуковых
установках.
18. Пластины - травление с целью получения определенного
вытравленного профиля по поверхности.
19. Пластины кремния - травление лунки в установке
динамического травления с применением кислот: уксусной, плавиковой, азотной.
20. Пластины кремния полированные - химическая обработка
поверхности для выявления нарушенного слоя; глубокое травление в заданной
размерности.
21. Пластины кремния - отмывка после эпитаксиального
наращивания, перед фотогравировками и диффузией на полуавтомате; определение
качества поверхности путем измерения микрорельефа на поверхности с помощью
микроскопа.
22. Пластины полупроводниковых приборов и микросхем -
химическая обработка на полуавтоматических линиях и установках.
23. Пластины СФАГ - химическая обработка перед диффузией
цинка, после диффузии цинка, перед напылением алюминия.
24. Переходы собранные - электролитическое травление
мезоструктуры.
25. Пленка эпитаксиальная - химическая обработка.
26. Проволока из цветных металлов и сплавов - травление
электромеханическим способом, методом протяжки.
27. Реактивы кварцевые - травление, отмывка, сушка на
установках УТКР, ФОКР, УС-1.
§ 135. Травильщик прецизионного травления (5-й разряд)
Характеристика работ. Травление деталей в многокомпонентном
травителе на установках травления и автоматических линиях. Многостадийное
травление. Химическое и химико-механическое травление пластин повышенного
диаметра. Глубинное травление пластин кремния и полирование с использованием
синтетических материалов. Травление (подтравливание) профилированной структуры.
Определение скорости и времени травления профилированных структур.
Приготовление электролита, насыщение электролита оловом, расчет режима
высаживания. Приготовление сложных флюсов, светочувствительного слоя,
метилоранжа, контактола. Получение молекулярного серебра. Регулирование
ультразвуковых установок, применяемых для травления и промывания. Подбор и
корректировка режимов травления. Измерение глубины травления по
интерференционным линиям на микроскопе.
Должен знать: электрические схемы, способы проверки обслуживаемых
оборудования и установок; принцип действия применяемых установок для травления
и промывания; применение контактола, реакции осаждения и восстановления;
условия для работы с солями; правила сушки мелкодисперсионного серебра;
механизм процессов травления и очистки поверхности пластин; основные свойства
кислот, солей, органических растворителей и деионизированной воды, применяемых
в процессе работы; основные виды брака и способы их устранения.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Микропроволока из тугоплавких металлов и их сплавов -
травление методом протяжки.
2. Металлы (вольфрам, тантал, кремний) - электролитическое
травление.
3. Переходы - силанирование приборов типа ТМ-10.
4. Ножки собранные - обработка в различных реактивах.
5. Пластины, кристаллы - травление и обработка из
ультразвуковой установки.
6. Пластины для приборов типа ТС-1, ТС-2, ТС-3, ТМ-10,
1ТЗО1-30, сложные твердые схемы - травление на различных этапах изготовления.
7. Пластины - растравливание на кристаллы.
8. Пластины - обработка под базовое, эмиттерное окисление
(отмывка в растворителях на ультразвуковых установках и в растворах
комплексообразователей).
9. Пластины - вытравливание канавок определенного профиля
по чертежу с заданной точностью.
10. Пластины кварцевые шлифованные и полированные с
основной частотой свыше 15 МГц и с частотой от 45 до 110 МГц по 3-й
механической гармонике - травление до заданной частоты.
11. Пластины полупроводниковых приборов и микросхем -
многостадийная химическая обработка на линии типа "Лада-1"; снятие
боросиликатного стекла с последующей химической обработкой в
перекисно-аммиачном и перекисно-соляном растворах.
12. Пластины монокристаллического кремния - химическая
обработка с заданным качеством поверхности.
13. Проволоки тончайшие вольфрамовые - размерное травление
(с диаметра 21...11 микрон до диаметра 17...5 микрон).
14. Стекла сложные (ФСе; БСе) - травление.
15. Эпитаксиальные структуры феррит - гранатов для сложных
магнитных интегральных схем - травление на разных этапах изготовления.
§ 136. Травильщик прецизионного травления (6-й разряд)
Характеристика работ. Ведение процессов объемной химической
обработки пластин, химического травления диэлектрических пленок (двуокиси
кремния, нитрида кремния, фосфоросиликатного стекла) на автоматизированных
комплексах, состоящих из шести и более установок. Самостоятельный выбор и
задание на ЭВМ программы на приготовление технологических растворов с требуемой
концентрацией компонентов. Ввод в ЭВМ технологических параметров химической
обработки, отмывки и сушки. Контроль по дисплею и регулирование технологических
параметров (время обработки, температура, удельное сопротивление воды).
Определение и задание на ЭВМ маршрута движения робота с партиями пластин.
Контроль дефектности процесса, оценка уровня дефектности на автоматизированных
анализаторах поверхности типа "SUZFSKAN4500". Обслуживание
автоматизированных комплексов химической обработки в режиме
"отладка". Ведение учета отказов автоматизированного комплекса,
анализа диагностики, выдаваемой ЭВМ; проведение простых наладочных работ.
Обслуживание и подналадка автоматических перегрузчиков пластин. Химическая
обработка стеклопластин на автоматических ультразвуковых линиях. Определение и
задание параметров обработки стеклопластин путем программирования режимов
отмывки на компьютере. Контроль параметров технологического процесса с
последующей корректировкой задаваемых режимов с применением контрольных
графиков.
Должен знать: устройство, принцип работы, конструктивные
особенности и правила эксплуатации автоматизированных комплексов химической
обработки и автоматических перегрузчиков пластин; основные принципы работы на
персональном компьютере и способы задания параметров химической обработки на
автоматизированных комплексах, состоящих из шести и более установок; устройство
и правила эксплуатации ЭВМ типа IBMP; принцип сбора и обработки данных на ПЭВМ;
порядок доставки химреагентов; правила эксплуатации систем автоматизированной
подачи химреактивов; требования к качеству обработанных изделий; основные виды
брака и способы его устранения.
Примеры работ
1. Пластины СБИС - обработка в перекисно-аммиачных
растворах и растворах серной кислоты с перекисью водорода на линии
"Кубок"; травление Si2O2, Si3N4, ФСС на линии "Кубок Т".
2. Пластины стеклянные - многостадийная химическая
обработка на ультразвуковых автоматических линиях.
Похожие материалы:
Травильщик купроксных выпрямительных элементов
Травильщик клише (Выпуск №55 ЕТКС )
Травильщик валов
Травильщик радиокерамики
Травильщик синтетических материалов на тканевой основе (Выпуск №27 ЕТКС)
Травильщик стекла плавиковой кислотой
|